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聶蘭艦
聶蘭艦
中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司教授級高工

聶蘭艦，教授級高工，現(xiàn)任建材工業(yè)石英玻璃重點實驗室主任及石英新材料研究所副所長。自2011年工作以來，一直從事高性能石英玻璃材料的制備技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)化等研究工作。先后作為項目負(fù)責(zé)人主持國家級科研項目10項，重點參與國家級科研項目十余項，研制出慣導(dǎo)用高均勻石英玻璃、大尺寸零膨脹石英玻璃、全合成石英管、無氯抗輻射石英玻璃、間接法合成高純無水石英玻璃和摻雜功能石英玻璃等多項石英玻璃新材料，為航天、強(qiáng)激光、半導(dǎo)體和精密光學(xué)等領(lǐng)域提供了關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，獲授權(quán)專利31件（其中授權(quán)發(fā)明22件）、發(fā)表論文20余篇、參與論著2部、制修訂標(biāo)準(zhǔn)20余項，榮獲科技獎7項。


演講摘要：

本報告深入探討高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中核心應(yīng)用價值。其獨特的物理和化學(xué)特性，如耐高溫、耐腐蝕、低膨脹和高度絕緣等，使其成為半導(dǎo)體工業(yè)中不可替代的基礎(chǔ)性材料。

在半導(dǎo)體制造過程中，高純石英制品被廣泛應(yīng)用于硅片制造、晶圓制造和芯片制造等各個環(huán)節(jié)。特別是在硅片制造中，石英坩堝是拉制單晶硅棒的關(guān)鍵部件；在晶圓制造中，石英玻璃擴(kuò)散管、石英舟等石英玻璃器具被大量使用；在芯片制造中，光刻、刻蝕和薄膜沉淀等工藝環(huán)節(jié)也需要使用高純石英材料制品，如光掩膜基板等。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對高純石英材料制品的要求也越來越高。未來，隨著物聯(lián)網(wǎng)、區(qū)塊鏈、汽車電子等新興技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，半導(dǎo)體行業(yè)對高端石英產(chǎn)品的需求量有望繼續(xù)保持增長，高純石英材料制品在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用前景廣闊。